투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)의 원리와 응용
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작성일 20-11-06 00:49
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투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)에 관하여 그 기기구성과 얻을 수 있는 영상정보에 대하여 소개 , 투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)의 원리와 응용공학기술레포트 ,
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투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)에 관하여 그 기기구성과 얻을 수 있는 영상정보에 대하여 introduce
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투과전자 현미경(TEM:transmission electron microcope)의 원리와 응용
1. 머 리 말
2. 투과전자현미경의 발전역싸
3. 가속전자와 시료의 反應(반응)
3.1. 원자핵과의 反應(반응)
3.2. 전자각과의 反應(반응)
4. TEM 기기 구성
5. 전자의 성질과 전자기 렌즈
5.1. 가속전자의 에너지와 파장
5.2. 자장에서의 전자의 운동
5.3. 전자기 렌즈와 영상
5.4. 전자기렌즈의 특징과 결함
6. 렌즈작용과 TEM 영상
6.1. 렌즈작용과 Abbe 영상
6.2.TEM의 분해능
7. TEM영상기법과 그 응용
7.1. 영상모드
7.2. 회절 모드
7.3. observation 예
8. 맺는말
2. 투과전자현미경의 발전역싸
투과현미경(TEM)의 발전은 입자물리와 electromagnetics의 발전과 그 궤를 같이 한다. 반도체와 전자제어 기술의 발전으로 80년대 이후 分析(분석)전자현미경(ATEM:analytical TEM)의 보급이 보편화되었다. Ruska가 고안한 최초의 TEM은 두 개의 전자기 렌즈로 물체의 상을 확대시키도록 되어 있어서 현재 상품화된 TEM의 기본 요소를 모두 갖추고 있따 당시 Ruska와 Max Knoll은 이 장치를 전자현미경이라고 이름하지 않았으나 이 기초적 연구결과로 Ruska는 1986년에 노벨물리학상을 수상하게 된다된다.
3. 가속전자와 시료의 反應(반응)
TEM에서 가속된 전자빔을 얇은 시료에 조사하면, 고에너지 전자는 원자와 충돌하여 산란하면서 시…(skip)
,공학기술,레포트
다. AEM은 별도의 발전된 기술의 접목 즉, TEM과 주사전자현미경(SEM:Scanning Electron Microscopy)의 복합기술로 국부적인 미세구조의 직접observation과 동시에 화학조성을 정량화할 수 있게 되었다. TEM의 근원은 1929년 독일의 Ernst Ruska가 음극관의 연구 중에 직경 0.3mm인 양극 조리개의 영상을 확대시킨 실험에 있따 이 성과는 초점거리가 작은 전자기 렌즈를 고안할 수 있었기 때문인데, 1925년에 de Broglie의 입자파동theory(이론)을 이해하지 못한 채 전자빔으로 물체의 영상을 확대시킬 수 있음을 증명해준 획기적인 사건이었다. 최근의 AEM으로는 수렴성 전자빔의 탐침크기를 2Å까지 작게 할 수 있어서 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)와 EELS(Electron Energy Loss Spectroscopy)로 100nm3 이하의 부피를 구성하고 있는 화학component을 정량화할 수 있어서 전자현미경의 영역이 더욱 확대되었다. 가속전압은 50kV였으며 배율은 13배였다. 1931년 4월 7일 Ruska는 백금 그리드를 전자빔으로 2단계 확대시켜 영상화하는 데 성공하여 전자빔을 사용한 현미경의 가능성을 처음으로 보여 주었다.
