전기工學 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
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작성일 20-04-23 22:10
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이는 물리적 의미는 없다.
비저항 은 물질마다 고유의 값을 가지고 있다아
Van der pauw’s method
Van der pauw’s method은 비저항 측정(測定) 방법이다. 이때 전류 I를 측정(測定) 하려면 전체 저항은 R이어야하나 실제로 전류계에 내부저항이 존재한…(생략(省略))
실험결과/기타
설명
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전기工學 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
다.
2.문제
면저항의 정의(定義)
:비저항, R:전체 저항
:면저항(Sheet resistance)
,
전체저항은 크기에 effect(영향) 을 받기 때문에 저항을 비교하기 위해서는 크기를 통일한다.
이때 4.53은 박막의 넓이가 무한대라는 가정하에 나오는 값이다.
비저항 은 단위면적당 단위길이당 저항을 말한다.
t : 두께 , f(r) : 비율의 함수
實驗(실험)을 준비하는데 있어 시편 준비 등 일이 많아 4 point probe를 사용한다.
여기서 전체저항과 면저항을 구분하기 위해 /을 한다.
전기工學 실험 - 면저항 실험(4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정)
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1.實驗(실험)목적
면저항(Sheet Resistance)의 개념(槪念)을 이해하고 4-point probe를 이용하여 박막의 면저항을 측정(測定) 하고 측정(測定) 값과 理論값을 비교한다.
측정(測定) 할 때 탐침전극을 사용하고 최외곽 가장자리에 위치시켜야 측정(測定) 의(定義) 정확도를 높일 수 있다아
4 point probe
전류를 흘려 전압계로 전압을 측정(測定) 하는데 이때 전압을 흘리지 않고 전류를 흘리는 이유는 전압을 흘릴 경우 접촉저항으로 전체저항에 오차가 생기기 쉽기 때문일것이다 전류를 흘릴 경우 오차에 effect(영향) 을 거의 미치지 못한다.
한 변의 길이가 1cm인 정육면체를 표준으로 한다.Van der pauw’s method은 4 point probe에 비하여 박막의 면저항 측정(測定) 에 많이 사용되진 않지만 국부면이 아닌 전체면에 대하여 비교적 간단하게 측정(測定) 할 수 있으며, 측정(測定) 탐침은 최외곽 가장자리 위치에서만 사용하므로 비교적 4 point probe보다 표면에 손상을 주지않는 비파괴적인 방법이다.
4 point probe 에 전압을 흘리면 오차가 생기는 이유를 보자. 그림 을 보면 전류를 흘리고 전류계로 전류를 측정(測定) 하는 방식이다.
